本开发品,使要求耐热性的半导体制造装置设备实现了更长的使用寿命,为削减客户的维修费做出了贡献。
*EXSEV是捷太格特公司的注册商标
近年来,随着半导体制造流程的缩短,高速运转的制造装置内的温度有升高倾向。以前的润滑脂,因为超过了200℃就会导致油分的蒸发,增稠剂因为发生热分解而不能使用,所以在高温环境下,只能使用固体润滑剂。但是由于固体润滑剂寿命短、保修时间短,因此急需开发出具有更高耐热性、耐久性的特殊环境用轴承。
本开发品,因使用不容易蒸发的基础油和强热分解型增稠剂组合而成的润滑脂,所以可耐300℃高温。
并且,与以往的固体润滑剂相比较,寿命延长了6倍以上,大幅度提升了性能,在要求耐热性的设备领域中,为削减维修费和提高工作效率做出了贡献。
本开发品已经于2018年12月在捷太格特集团旗下的德岛工场、国分工场和龟山工场等基地量产,面向全球的半导体制造企业销售。
捷太格特(JTEKT)的轴承事业品牌 Koyo 以“ Key of your operation ”为产品理念,旨在和客户一同合作,致力于问题的解决,作为“可信赖的伙伴”为半导体、FRD*等各个产业的发展做出贡献。
*FRD: Flat Panel Display的缩写,意为平板显示器。