此次开发的表面封装型MEMS角加速度传感器
村田制作所宣布在全球率先开发出了表面封装型的MEMS角加速度传感器。这款新产品是通过融合加速度传感器和角速度传感器的设计技术以及MEMS工艺成功开发出来的。新产品的卖点是尺寸小于Lead Type角加速度传感器。新产品的投产时间正在讨论中。
新产品的尺寸为5.2mm×2.5mm(标准)×0.8mm(Z大),拥有1kHz以上的检测频带。据介绍,用传感器及检测电路产生的噪声除以传感器灵敏度得到的噪声有效值在1rad/s2rms以下(检测频带为1Hz~25kHz、与村田制作所的指定IC组合使用时)。